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FPS01测试系统是晶圆抛光制程调平的必要利器,这套系统能够协助您评估、观测并平衡抛头上所承载的受力。
测试要求:
FPS01测试系统是晶圆抛光制程调平的必要利器,这套系统能够协助您评估、观测并平衡抛头上所承载的受力。
测试概述:
下面的实验是在收集并分析抛头底部压力分布的情形。利用FPS01独一无二的网格化传感系统,具有量测抛头和晶圆接触表面的压力分布情形。只要在仪器操作、配置时,能够平衡这些压力,就能够协助改善产能与仪器的操作。
从这两张图中可以观察到,抛头下落时不加压,外钢圈的压力分布大,中间气囊部分小且接触力不均匀,当气囊开始加压时,外钢圈的压力与气囊压力持平,且能看出气囊部分区域不平压力过小,然后对应区域去调整。