某公司晶圆研磨机抛头平整度测试

FPS01测试系统是晶圆抛光制程调平的必要利器，这套系统能够协助您评估、观测并平衡抛头上所承载的受力。

项目详情

测试要求：

FPS01测试系统是晶圆抛光制程调平的必要利器，这套系统能够协助您评估、观测并平衡抛头上所承载的受力。

测试概述：

下面的实验是在收集并分析抛头底部压力分布的情形。利用FPS01独一无二的网格化传感系统，具有量测抛头和晶圆接触表面的压力分布情形。只要在仪器操作、配置时，能够平衡这些压力，就能够协助改善产能与仪器的操作。

从这两张图中可以观察到，抛头下落时不加压，外钢圈的压力分布大，中间气囊部分小且接触力不均匀，当气囊开始加压时，外钢圈的压力与气囊压力持平，且能看出气囊部分区域不平压力过小，然后对应区域去调整。