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测量玻璃晶圆贴合平整度

测试概述:现如今,玻璃晶圆的需求愈来愈大,如手机屏幕、单反相机、AR/ VR眼镜等,同时晶圆的制成对设备机台的平整度要求也随之增加,我司的薄膜压力分布传感器可以轻松观察到机台的贴合是否平整,以及数据分析后的调整方向。

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测试概述:现如今,玻璃晶圆的需求愈来愈大,如手机屏幕、单反相机、AR/ VR眼镜等,同时晶圆的制成对设备机台的平整度要求也随之增加,我司的薄膜压力分布传感器可以轻松观察到机台的贴合是否平整,以及数据分析后的调整方向。

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