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复杂曲面原子级抛光头压力分布测量

复杂曲面原子级抛光头压力分布测试,采用FPS01薄膜压力分布测量系统,获取抛光头下压接触面全域压力数据,直观呈现分区压力,为抛光头装配调平、气囊参数标定与抛光工艺优化提供量化依据。

项目详情

测试要求:

超清轴承复杂曲面原子级抛光承载头,带保持环结构。操作静态下压,独立调节各气囊分区压力。测试导出压力云图、分区平均压力、极差与均匀度报告,定位局部高压 / 低压异常区域。调平标准:抛光头无倾斜,无异常应力集中;各分区实际压力与设定值偏差满足设备技术指标

测试概述:

将压力传感薄膜FPS7200放置盖板表面固定,和采集器FPS01-PD连接,施压进行测量。本次平整度测试依托高分辨率电子感压纸检测技术,相较于传统检测方式,本次采用的薄膜感压检测方案优势显著,成像效果优异,面板压力感应图像边界清晰完整,数据详细可供分析。

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抛光头压力分布测试现场


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调平测试压力分布图像


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